Metalizavimo dengimo mašina

Visi PVD dengimo proceso privalumai, kuriais sukuriamos pačios tvirčiausios, ryškiausios ir pažangiausios mūsų laikų technologijos – nuo ​​mikroschemų iki saulės kolektorių, nė vienas nėra svarbesnis už tai, kad PVD dangas galima padengti be toksiškų likučių ar šalutinių produktų. kurios blogina mūsų planetos aplinką.

Metalizavimo dengimo mašina

Purškimo dangos proceso koncepcija

Vadinamoji purškimo danga reiškia taikinio bombardavimą energingomis dalelėmis (pavyzdžiui, teigiamais jonais) vakuuminėje kameroje, kad taikinio paviršiuje esantys atomai ar atominės grupės pasišalintų, o išbėgę atomai suformuotų plėvelę. ruošinys tokios pat sudėties kaip ir taikinys. , šis plonų plėvelių paruošimo būdas vadinamas purškimu. Šiuo metu purškimas daugiausia naudojamas metalo ar lydinio plonoms plėvelėms formuoti, ypač gaminant elektroninių komponentų elektrodus ir infraraudonuosius spindulius atspindinčias plėveles ant stiklo paviršių. Be to, purškimas taip pat naudojamas ruošiant funkcines plonas plėveles, tokias kaip In2O3-SnO2 skaidrios laidžios keraminės plonos plėvelės, skirtos skystųjų kristalų ekranų įrenginiams.

Yra du dulkinimo būdai: vienas vadinamas jonų pluošto purškimu, kuris reiškia tikslinio paviršiaus bombardavimą jonų pluoštu vakuuminėje būsenoje, kad išpurškiamos dalelės suformuotų plėvelę ant pagrindo paviršiaus. Šis procesas yra santykinai brangus ir daugiausia naudojamas ruošiant specialųjį teorinį metodą, vadinamą katodiniu purškimu, kuriame daugiausia naudojamas žemo slėgio dujų iškrovos reiškinys, todėl plazmos būsenoje esantys jonai bombarduoja tikslinį paviršių, o išpurškiamos dalelės nusėda ant Jame yra lygiagrečios plokštelės elektrodo struktūra, didelio ploto taikinys, pagamintas iš membraninės medžiagos, yra katodas, o pagrindas, laikantis pagrindą, yra anodas, kuris įmontuotas į varpelio tipo vakuuminį indą. Siekiant sumažinti taršą, slėgis varpelio inde pirmiausia buvo pumpuojamas iki mažesnio nei 10-3~10-4Pa, o po to užpildomas Ar, kad slėgis būtų 1–10 Pa. Tarp dviejų elektrodų taikoma kelių tūkstančių voltų įtampa, skirta purškimo dangai.

Palyginti su garinimo danga, tikslinė medžiaga (plėvelės medžiaga) neturi fazę keičiančios purškiančios dangos, junginio sudėtis yra stabili, o lydinį nėra lengva frakcionuoti, todėl paruošimui tinkama plėvelės medžiaga yra labai plati. Kadangi dalelių, nusėdusių ant pagrindo purškiant, energija yra 50 kartų didesnė nei išgarinant, jos valo ir šildo pagrindą, todėl susidariusi plėvelė turi stiprų sukibimą. Visų pirma, purškiančios dangos dėka lengva valdyti plėvelės sudėtį. Tiesioginio arba reaktyviojo purškimo būdu galima paruošti įvairias lydinio plėveles, sudėtines plėveles, daugiasluoksnes plėveles ir kompozicines plėveles su dideliais ir vienodais plotais. Purškiamąją dangą lengva įgyvendinti nuolat, automatizuotai ir didelio masto gamybai. Tačiau dėl to, kad purškimo metu naudojama aukšta įtampa ir dujos, įrenginys yra gana sudėtingas, ploną plėvelę lengvai paveikia purškimo atmosfera, o plonos plėvelės nusodinimo greitis taip pat yra mažas. Be to, purškiamai dangai reikia iš anksto paruošti įvairių komponentų taikinius, o tai yra nepatogu įkelti ir iškrauti taikinį, o taikinio panaudojimo lygis nėra per didelis.

Parametras

Taikymas

Mūsų kompanija

Populiarus Žymos: metalizavimo dengimo mašina, Kinija, tiekėjai, gamintojai, gamykla, pritaikyta, pirkti, kaina, citata