Vakuuminio garinimo dengimo technologijos įdiegimas

Vakuuminio dengimo mašinų gamintojų vakuuminio garinimo dengimo technologija apima atsparią garinimo dangą, elektronų pluošto išgarinimo dangą, lazerio spindulio garinimo dangą, aukšto dažnio indukcinio kaitinimo garinimo dangą ir kt. Toliau pateiktoje lentelėje pateikiamos kelių garinimo dengimo technologijų charakteristikos.

1. Atsparumo garavimo dengimas: Atsparumo garavimo šaltinis naudojamas žemos lydymosi temperatūros medžiagoms, tokioms kaip auksas, sidabras, cinko sulfidas, magnio fluoridas, chromo trioksidas ir kt., išgarinti. Atsparumo garavimo šaltiniai paprastai gaminami iš volframo, molibdeno ir tantalo.

2. Elektronų pluošto garinimo dengimas: po to, kai plėvelės medžiaga išgarinama ir išgarinama kaitinant elektronų pluoštą, tai yra svarbus vakuuminio garinimo technologijos šildymo metodas, skirtas kondensuotis ir suformuoti plėvelę ant pagrindo paviršiaus. Yra daug tokių įrenginių tipų. Plačiai pritaikius plonasluoksnę technologiją, ne tik įvairūs reikalavimai membranų tipams, bet ir griežtesni reikalavimai membranų kokybei. Atsparus garavimas nebegali patenkinti kai kurių metalų ir nemetalų išgarinimo poreikių. Elektronų pluošto šilumos šaltinis gali gauti daug didesnį energijos tankį nei atsparus šilumos šaltinis, o vertė gali siekti 104-109w/cm2, todėl plėvelę galima įkaitinti iki 3000-6000c. Tai yra geresnis šilumos šaltinis garinant ugniai atsparius metalus ir nemetalines medžiagas, tokias kaip volframas, molibdenas, germanis, SiO2, AI2O3 ir kt. Be to, kadangi garinama medžiaga dedama į vandeniu aušinamą tiglį, išgaruoja gali būti išvengta talpyklos medžiagos ir reakcijos tarp talpyklos medžiagos ir plėvelės medžiagos, o tai labai svarbu siekiant pagerinti plėvelės grynumą. Be to, šiluma gali būti tiesiogiai pridedama prie plėvelės medžiagos paviršiaus, todėl šilumos efektyvumas yra didelis, o šilumos laidumo ir šilumos spinduliuotės nuostoliai yra nedideli.

3. Aukšto dažnio indukcinio šildymo garinimo dengimas: metalas kaitinamas iki garavimo temperatūros, naudojant indukcinio šildymo principą. Įdėkite tiglį, kuriame yra plėvelės medžiaga, į spiralinės ritės centrą (be kontakto) ir per ritę praleiskite aukšto dažnio srovę, dėl kurios metalinė plėvelė gali generuoti srovę, kuri pati įkais, kol išgaruos.

Indukcinio šildymo garavimo šaltinio charakteristikos: 1) Garavimo greitis yra didelis 2) Garavimo šaltinio temperatūra yra vienoda ir stabili, o aliuminio lašų purslų reiškinys nėra lengvas 3) Garavimo šaltinis įkraunamas vienu metu , nereikia vielos padavimo mechanizmo, temperatūros reguliavimas yra gana lengvas, o operacija paprasta 4) Plėvelei Medžiagos grynumo reikalavimai yra šiek tiek platesni.

4. Lanko šildymo garinimo dengimas: šildymo metodas, panašus į elektronų pluošto šildymo metodą, yra lankinio išlydžio šildymo metodas. Jis taip pat pasižymi atsparumo kaitinimo medžiagų arba tiglio medžiagų užteršimo ypatybėmis, o kaitinimo temperatūra yra aukšta, ypač tinka ugniai atspariems metalams, grafitui ir kt., kurių lydymosi temperatūra ir tam tikras laidumas, išgarinti. Tuo pačiu metu šiuo metodu naudojama įranga yra paprastesnė nei elektronų pluošto šildymo įrenginio, todėl tai yra palyginti nebrangus garinimo įrenginys.

5. Lazerio pluošto išgarinimas: didelio galingumo tankio impulsinio lazerio naudojimo būdas medžiagai išgarinti, kad susidarytų plona plėvelė, paprastai vadinamas lazerio garinimu.