Papuošalų PVD dengimo mašina

Kietosios plėvelės nusodinimas – tai technologija, kai ant padengiamo „substrato“ paviršiaus arba ant anksčiau padengtos dangos padengiama labai plona medžiagos plėvelė – nuo ​​kelių nanometrų iki maždaug 100 mikrometrų arba kelių atomų storio. sluoksnių. Plonasluoksnio nusodinimo gamybos procesai yra šiandienos puslaidininkių pramonės, saulės baterijų, kompaktinių diskų, diskų įrenginių ir optinių įrenginių pramonės pagrindas.

Plonosios plėvelės nusodinimas paprastai skirstomas į dvi plačias kategorijas – cheminio nusodinimo ir fizinio garų nusodinimo dangų sistemas.

Yra daugybė vakuuminių krosnių magnetroninio purškimo tipų. Kiekvienas iš jų turi skirtingus veikimo principus ir taikymo objektus. Tačiau jie turi vieną bendrą bruožą: dėl magnetinio lauko ir elektronų sąveikos elektronai sukasi spirale aplink tikslinį paviršių, taip padidindami tikimybę, kad argono dujos sukels jonus. Sukurti jonai patenka į taikinio paviršių, veikiami elektrinio lauko, kad išpuršktų taikinį. Pastaraisiais dešimtmečiais nuolatiniai magnetai buvo palaipsniui pritaikyti, o ritės magnetai naudojami retai.

Tikslinis šaltinis skirstomas į subalansuotus ir nesubalansuotus tipus. Subalansuotas tikslinis šaltinis turi vienodą dangą, o nesubalansuota tikslinio šaltinio danga turi stiprią sukibimo jėgą su pagrindu. Subalansuoti taikiniai dažniausiai naudojami puslaidininkinėms optinėms plėvelėms, o nesubalansuoti taikiniai dažniausiai naudojami dėvimoms dekoratyvinėms plėvelėms.

Nepriklausomai nuo balanso ar disbalanso, jei magnetas yra nejudantis, jo magnetinio lauko charakteristikos lemia, kad bendras tikslinis panaudojimo lygis yra mažesnis nei 30 procentų. Siekiant padidinti tikslinės medžiagos panaudojimo greitį, gali būti naudojamas besisukantis magnetinis laukas. Bet norint sukti magnetinį lauką, reikalingas sukimosi mechanizmas, o tuo pačiu sumažėja purškimo greitis. Besisukantys magnetiniai laukai dažniausiai naudojami dideliems ar brangiems taikiniams. Tokie kaip puslaidininkinės plėvelės purškimas. Mažai įrangai ir bendrai pramoninei įrangai dažnai naudojamas magnetinio lauko statinis tikslinis šaltinis.

Vakuuminėje krosnyje lengva purkšti metalus ir lydinius magnetroniniu taikinio šaltiniu, o uždegimas ir purškimas yra labai patogu. Taip yra todėl, kad taikinys (katodas), plazma ir purškiama dalis / vakuuminė kamera gali sudaryti kilpą. Bet jei purškia izoliatoriai, tokie kaip keramika, grandinė nutrūksta. Taigi žmonės naudoja aukšto dažnio maitinimo šaltinį ir į kilpą prideda stiprų kondensatorių. Tokiu būdu tikslinė medžiaga tampa izoliacinės grandinės kondensatoriumi. Tačiau aukšto dažnio magnetroninio purškimo maitinimo šaltinis yra brangus, purškimo greitis yra labai mažas, o įžeminimo technologija yra labai sudėtinga, todėl sunku jį naudoti dideliu mastu. Norėdami išspręsti šią problemą, buvo išrastas magnetroninis reaktyvusis purškimas. Tai yra, naudojant metalinį taikinį, pridedant argono ir reaktyviųjų dujų, tokių kaip azotas arba deguonis. Kai metalas atsitrenkia į dalį, jis susijungia su reaktyviosiomis dujomis ir susidaro nitridai arba oksidai dėl energijos konversijos.

Taikymas

   Parametras

Mūsų kompanija

Populiarus Žymos: juvelyrikos pvd dengimo mašina, Kinija, tiekėjai, gamintojai, gamykla, pritaikyta, pirkti, kaina, citata