Sukimo dengimo mašina
Yra daug magnetroninio dulkinimo tipų, kuriuos pagal naudojamą maitinimo šaltinį galima suskirstyti į nuolatinės srovės magnetroninį dulkinimą, radijo dažnio magnetroninį dulkinimą ir vidutinio dažnio magnetroninį dulkinimą.
Vidutinio dažnio purškimas taip pat yra magnetrono purškimas.
Yra daug magnetroninio dulkinimo tipų, kuriuos pagal naudojamą maitinimo šaltinį galima suskirstyti į nuolatinės srovės magnetroninį dulkinimą, radijo dažnio magnetroninį dulkinimą ir vidutinio dažnio magnetroninį dulkinimą. Maitinimo šaltinis, naudojamas nuolatinės srovės magnetroniniam purškimui, yra nuolatinės srovės aukštos įtampos maitinimo šaltinis, paprastai 300-1000 V, kuriam būdingas greitas purškimo greitis, maža kaina ir pigi priežiūra vėlesniu laikotarpiu. Tačiau apipurkšti galima tik metalinius taikinius. Jei taikinys yra izoliatorius, purškimo eigoje taikinys sukaups didelį krūvį, todėl purškimas negalės tęstis. Todėl nuolatinės srovės magnetroninis purškimas dažniausiai naudojamas metaliniams taikiniams. Dėl mažos kainos ir paprastos struktūros jis plačiai naudojamas pramonėje. RF maitinimo šaltinio, naudojamo RF magnetrono dulkinimui, dažnis paprastai yra 13,56 MHz, o tai gali išspręsti problemą, kad nuolatinės srovės magnetroninis purškimas negali apipurkšti izoliuojančių taikinių. RF magnetroninio purškimo charakteristikos yra tokios: gali būti purškiami ir izoliuojantys taikiniai, ir metaliniai taikiniai, o plėvelės ir pagrindo sukibimas yra stiprus. Tačiau dėl sudėtingos struktūros ir įrenginio, didelės RF maitinimo šaltinio kainos, didelių priežiūros sąnaudų, žmogaus kūno spinduliuotės ir išorinio suderinimo tinklo poreikio jis netinka pramoninei gamybai. Vidutinio dažnio magnetroninis dulkinimas dažnai naudojamas reaktyviam dulkėjimui metalo junginių plėvelėms paruošti. Be argono, į ertmę pridedamas nedidelis kiekis reaktyvių dujų, tokių kaip azotas, deguonis ir kt., kad šių reaktyvių dujų molekulės nusodintų tikslinės medžiagos atomus. ant pagrindo, kad susidarytų metalo junginio plėvelė. Kadangi nuolatinės srovės magnetroninis purškimas yra plačiai naudojamas pramonėje, magnetrono purškimo lentelę sudaro vakuuminė sistema, purškimo dangos sistema, dujos ir valdymo sistema.
Taikymas
Parametras
Mūsų kompanija
Populiarus Žymos: sukimosi dengimo mašina, Kinija, tiekėjai, gamintojai, gamykla, pritaikyta, pirkti, kaina, citata
Siųsti užklausą
