Išmokykite išsiaiškinti priežastį, kodėl gaminiai, padengti vakuuminio dengimo įranga, nukrenta nuo plėvelės

Vakuuminio dengimo įranga daugiausia reiškia dangos tipą, kurį reikia atlikti esant dideliam vakuumui, ir yra daug tipų, įskaitant vakuuminį jonų garavimą, magnetroninį dulkinimą, MBE molekulinio pluošto epitaksiją, PLD lazerinį purškimą ir daugelį kitų. Taip pat bus daug problemų naudojant vakuuminio dengimo įrangą, pavyzdžiui, padengtų gaminių plėvelės lupimasis. Toliau supažindinsime su vakuuminio dengimo įranga dengtų gaminių plėvelės kritimo priežastimis.

1. Nepakanka gaminio paviršiaus švarumo, o jonų šaltinio valymo argono stiprinimo laikas yra per ilgas.

2. Nesvarbu, ar valymo priemonė pridedama valymo metu, ar pakeičiama valymo priemonė, pirmiausia rekomenduojama naudoti gryną vandenį.

3. Nesvarbu, ar keičiasi proceso parametrai, galima atlikti kai kuriuos plėvelės storio ir srovės koregavimus.