Vakuuminio metalizavimo įranga

Ar PVD dangos yra saugios?

Fizinio garų nusodinimo procesai yra aplinkai nekenksmingas arba „padengimo“ metodas, kuris labai sumažina toksiškų medžiagų, kurias reikia naudoti, valdyti ir šalinti, kiekį, palyginti su kitais „šlapiais“ procesais, kuriuose naudojami skysčių pirmtakai ir cheminės reakcijos, naudojamos tam pačiam rezultatui pasiekti. . Fizinis garų nusodinimas yra tinkamiausia chirurginių ir medicininių implantų pramonės technologija, nes ji gali gaminti ypač grynas, švarias ir patvarias dangas.

Ar žinote, kas yra dengimo mašina? Tai daugiausia reiškia dangos tipą, kurį reikia atlikti esant aukštam vakuumo laipsniui, įskaitant daugybę tipų, įskaitant vakuuminį jonų išgarinimą, magnetroninį dulkinimą, MBE molekulinio pluošto epitaksiją, PLD lazerio dulkinimo nusodinimą ir daugelį kitų.

Vakuuminę sistemą sudaro mechaninis siurblys, kriogeninis siurblys, grublėtas vožtuvas, priekinės linijos vožtuvas, sklendės vožtuvas ir vakuumo matuoklis vakuumui aptikti. Magnetroninio purškimo metu azoto, deguonies ir vandens garų įtaka procesui turėtų būti sumažinta, todėl vakuumo laipsnis turi būti mažesnis nei 0,13 mPa ~ 4 Pa. Paprastai naudojamas Nowdry siurblys ir kriogeninis siurblys. Sausasis siurblys naudojamas siurbti žemą vakuumą. Palyginti su originaliu mechaniniu alyvos siurbliu, jis gali neleisti alyvai ir dujoms alyvos siurblyje patekti į vakuuminę kamerą, užteršti pagrindą ir sumažinti sukibimą tarp plėvelės ir pagrindo. Paprastai po to, kai sausas siurblys pumpuojamas žemiau 6,5 Pa, atidaromas užtvaras, o kriogeninis siurblys naudojamas aukštam vakuumui siurbti. Kriogeninis siurblys pasižymi dideliu siurbimo greičiu, ypač gebėjimu pašalinti vandens garus.

Purškimo dangos sistema susideda iš nuolatinės srovės maitinimo šaltinio, tikslinės medžiagos, aušinimo vandens, nuolatinio magneto, pagrindo šildymo įtaiso, pertvaros, ekranavimo sluoksnio ir kt. Tai pagrindinė magnetroninio purškimo stoties dalis. Nuolatinės srovės maitinimo šaltinis suteikia neigiamą aukštą 300-1 000 V įtampą ir taiko taikiniui, kad taikinys būtų prie katodo, o substratas - prie anodo. Aušinamasis vanduo naudojamas tikslinei medžiagai vėsinti, kad tikslinė temperatūra nepakiltų per greitai dėl purškimo. Aušinimo vandens vamzdynas turi būti pagamintas iš izoliacinių medžiagų, tokių kaip plastikiniai vamzdžiai, o ne iš metalinių vamzdžių. Pagrindo šildymo įtaisas gali pašalinti ant pagrindo esančias priemaišas, tokias kaip vandens garai, o tai gali pagerinti plėvelės ir pagrindo sukibimą. Be to, kai kuriems metalams tinkama temperatūra gali pagerinti plėvelės kokybę.

Taikymas

Parametras

Mūsų kompanija

Populiarus Žymos: vakuuminio metalizavimo įranga, Kinija, tiekėjai, gamintojai, gamykla, pritaikyta, pirkti, kaina, citata